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磁懸浮分子泵真空度
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  • 在真空技術(shù)領(lǐng)域,真空度(通常以壓強(qiáng)表示,如Pa、mbar、Torr)是衡量系統(tǒng)內(nèi)氣體稀薄程度的指標(biāo)。磁懸浮分子泵(FMB)憑借其革命性的無(wú)接觸磁軸承技術(shù),在實(shí)現(xiàn)并維持極高真空度方面展現(xiàn)出性能。

    真空度的價(jià)值:

    真空度是衡量氣體分子密度和平均自由程的關(guān)鍵參數(shù)。更高的真空度(更低的壓強(qiáng))意味著:

    1.分子密度極低,碰撞減少。

    2.分子平均自由程顯著增長(zhǎng),氣體行為更接近分子流態(tài)。

    3.為精密制造(如半導(dǎo)體光刻)、前沿科研(粒子、表面分析)和特殊工藝(鍍膜)提供無(wú)污染的純凈環(huán)境。

    磁懸浮分子泵通過(guò)無(wú)油磁軸承技術(shù),克服了傳統(tǒng)機(jī)械軸承泵的污染和轉(zhuǎn)速限制,實(shí)現(xiàn)了超高轉(zhuǎn)速、零潤(rùn)滑劑污染、極低放氣率和的極限真空度(常達(dá)10^{-8}-10^{-9}Pa)。它不僅是快速獲得高真空的工具,更是實(shí)現(xiàn)和維持超高/極高真空這一純凈、無(wú)擾實(shí)驗(yàn)與生產(chǎn)環(huán)境的關(guān)鍵保障,為現(xiàn)代前沿科技和制造提供了不可或缺的真空基礎(chǔ)。

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