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渦輪分子泵返油處理
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  • 渦輪分子泵(TMP)作為高真空設(shè)備,其“返油”現(xiàn)象(潤滑油反擴(kuò)散至真空腔)會(huì)嚴(yán)重污染工藝、降低良率。

    渦輪分子泵返油需快速響應(yīng),通過診斷(油位、油質(zhì)、軸承、密封、系統(tǒng))、清潔(泵體、油箱、腔室)和更換關(guān)鍵耗材(油、密封件、軸承)來污染源。長遠(yuǎn)來看,堅(jiān)持預(yù)防性維護(hù)、使用耗材、加裝擋板/冷阱以及規(guī)范操作是保障潔凈真空環(huán)境的。對(duì)極高潔凈度要求,磁懸浮泵是更優(yōu)選擇。

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